擴散爐是半導體生產線前工序的重要工藝設備之一，在高溫條件下對半導體晶圓進行摻雜，即將磷、硼等元素擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布情況，以建立不同的電特性區(qū)域。而擴散爐專用熱電偶特別應用于光伏行業(yè)的多晶硅鑄錠爐和半導體擴散爐，且采用多點同時測量爐內整段溫度，為擴散爐的準確控制爐溫均勻性提供了有力的保障。多點熱電偶用于擴散爐整段測溫的多點熱電偶結構被廣泛的應用于擴散爐內熱偶的制造中。
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