擴散爐熱電偶產(chǎn)品簡介：
半導體專用測溫儀表擴散爐熱電偶分為：多晶鑄錠爐熱偶、擴散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點式擴散爐熱電偶等，各種產(chǎn)品形態(tài)不一，大小與結(jié)構也盡不相同。做為高精度擴散爐熱電偶來說，為各大光伏產(chǎn)業(yè)帶來了許多幫助。該產(chǎn)品為了生產(chǎn)加工PECVD的隔離導電性，外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成，采用多個點位溫度測量，也有用戶采用多點測量法計算出爐內(nèi)的平均值從而獲得應有的數(shù)據(jù)。
溫度測量在0~1800℃中使用，測量點分為單點和多點，點可達8個點的測量，精度符合國際標準，工業(yè)等級I級，1500度誤差2℃不到，精度相當高，代替進口產(chǎn)品。擴散爐熱電偶用于光伏產(chǎn)業(yè)、半導體的開發(fā)與研制、科研領域、單位、進口設備（如：Centrotherm擴散爐設備、ALD真空感應爐、GT Solar 的 DSS 爐等）、燒結(jié)爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴散爐等，可溶化多晶硅、生長多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測溫。