擴(kuò)散爐熱電偶產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
半導(dǎo)體專用測(cè)溫儀表擴(kuò)散爐熱電偶分為：多晶鑄錠爐熱偶、擴(kuò)散爐專用熱電偶、鑄錠爐熱電偶、profile TC、Paddle TC、Spike TC多點(diǎn)式擴(kuò)散爐熱電偶等，各種產(chǎn)品形態(tài)不一，大小與結(jié)構(gòu)也盡不相同。做為高精度擴(kuò)散爐熱電偶來說，為各大光伏產(chǎn)業(yè)帶來了許多幫助。該產(chǎn)品為了生產(chǎn)加工PECVD的隔離導(dǎo)電性，外表的絕緣采用透明高純度石英管或高純度99%剛玉管制造而成，采用多個(gè)點(diǎn)位溫度測(cè)量，也有用戶采用多點(diǎn)測(cè)量法計(jì)算出爐內(nèi)的平均值從而獲得應(yīng)有的數(shù)據(jù)。
溫度測(cè)量在0~1800℃中使用，測(cè)量點(diǎn)分為單點(diǎn)和多點(diǎn)，點(diǎn)可達(dá)8個(gè)點(diǎn)的測(cè)量，精度符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)，工業(yè)等級(jí)I級(jí)，1500度誤差2℃不到，精度相當(dāng)高，代替進(jìn)口產(chǎn)品。擴(kuò)散爐熱電偶用于光伏產(chǎn)業(yè)、半導(dǎo)體的開發(fā)與研制、科研領(lǐng)域、單位、進(jìn)口設(shè)備（如：Centrotherm擴(kuò)散爐設(shè)備、ALD真空感應(yīng)爐、GT Solar 的 DSS 爐等）、燒結(jié)爐、退火爐、真空爐、氧化爐、擴(kuò)散爐等，可溶化多晶硅、生長(zhǎng)多晶硅錠、單晶硅、非晶硅、無定形硅和玻璃等工藝測(cè)溫。