擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體生產(chǎn)線前工序的重要工藝設(shè)備之一，在高溫條件下對半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行摻雜，即將磷、硼等元素?cái)U(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布情況，以建立不同的電特性區(qū)域。而擴(kuò)散爐專用熱電偶特別應(yīng)用于光伏行業(yè)的多晶硅鑄錠爐和半導(dǎo)體擴(kuò)散爐，且采用多點(diǎn)同時(shí)測量爐內(nèi)整段溫度，為擴(kuò)散爐的準(zhǔn)確控制爐溫均勻性提供了有力的保障。多點(diǎn)熱電偶用于擴(kuò)散爐整段測溫的多點(diǎn)熱電偶結(jié)構(gòu)被廣泛的應(yīng)用于擴(kuò)散爐內(nèi)熱偶的制造中。